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激光切割機(jī)加工工具有切割精度高、切割速度快、熱效應(yīng)低、無污染、無噪音等優(yōu)點(diǎn)，在汽車、船舶、航空航天和電子工業(yè)中都得到了廣泛的應(yīng)用。而激光切割加工質(zhì)量與激光焦點(diǎn)與工件之間的相對(duì)位置有著密切的關(guān)系，保證激光焦點(diǎn)和切割對(duì)象之間的合理的相對(duì)位置是保證激光切割加工質(zhì)量的關(guān)鍵之一。激光聚焦的焦點(diǎn)位置無法直接測(cè)量，但可以通過間接方法檢測(cè)。對(duì)于一個(gè)激光切割加工系統(tǒng)，其焦點(diǎn)位置是由聚焦鏡的光學(xué)焦點(diǎn)決定的，所以在聚焦鏡一定情況下其位置是不變的（不考慮聚焦鏡的熱效應(yīng)），因此可以通過檢測(cè)聚焦鏡和被加工對(duì)象之間的相對(duì)位置來間接檢測(cè)焦點(diǎn)和被加工對(duì)象之間的位置關(guān)系。激光焦點(diǎn)和被加工對(duì)象之間的相對(duì)位置可以通過電感位移傳感器和電容傳感器來檢測(cè)，在使用中各有優(yōu)缺點(diǎn)。電感傳感器的響應(yīng)頻率較低，不太適用于高速加工和像！維加工這樣需要非接觸檢測(cè)的場(chǎng)合；電容傳感器，具有響應(yīng)速度快，檢測(cè)精度高等優(yōu)點(diǎn)，但在使用過程中存在非線性和易受激光切割加工過程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣的干擾的影響。本文將系統(tǒng)討論激光切割加工中激光焦點(diǎn)位置誤差的產(chǎn)生途徑和自動(dòng)消除誤差的控制系統(tǒng)的組成。在此基礎(chǔ)上分別討論了兩種傳感器檢測(cè)系統(tǒng)組成以及實(shí)際使用中存在的不足和克服的方法。本文轉(zhuǎn)載自韜光剪板機(jī)